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用 大功率的X射线照射样品,样品可以被激发出各种元素能量的特征荧光X射线,不同元素的特征能量各不相同,通过半导体探测器分别测量不同元素特征能量的X射 线的强度,就可以进行定性分析。而样品受激发后发射的某一元素的特征X射线强度与元素在样品中的含量有关,因此通过建立元素与含量的数学模型后,就能对元 素进行定量分析。
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