放大倍数

8-300000x（底片放大）

电子枪

翻开式预对中钨阴极灯丝/六硼化镧灯丝（选配）

加速电压

0～30kV

自动调整功能

电子枪加热、偏压、对中、聚焦、亮度、对比度、消像散

探测器

高真空二次电子探测器、半导体四分割背散射电子探测器、CCD

样品台

五轴样品台： 

行程：X=80mm,Y=50mm,Z=30mm，R=360°，T=-5°～+70°

Zui大样品直径: Ф175mm；Zui大样品高度：20mm；

选配探测器

EDS、EBSD、CL