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Axia ChemiSEM与传统的扫描电镜不同，它的EDS集成在仪器上，并在电镜工作时始终在后台收集成分数据。它使用专利的算法同时处理BSE（背散射电子）和EDS信号，从而可以实时显示样品的形态和定量元素结果。