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技术参数（无负载，20摄氏度）
 步进电机驱动 直流伺服电机驱动
 行程 400/600mm 1000/1500mm 400/600mm 1000/1500mm
 速度/zei大 80mm/s 80mm/s 150mm/s 150mm/s
 负载/zei大 1500N 1500N 1500N 1500N
 驱动力/zei大 400N 400N 100N 150N
 螺距 5mm 5mm 5mm 5mm
 重复定位精度/双向 <3um <3um <3um <3um
 位置误差 <10um/100mm <10um/100mm <10um/100mm <10um/100mm
 偏转角 <75urad <150urad <75urad <150urad
 俯仰角 <75urad <150urad <75urad <150urad
 垂直偏差 <2um/100mm <2um/100mm <2um/100mm <2um/100mm
 水平偏差 <2um/100mm <2um/100mm <2um/100mm <2um/100mm
 电机电压/zei大 40V 40V 24V 50V
 保持电压 6.2V 2.5V
 电机电流/zei大 1.4A 3.2A 3.9A 4.9A
 每转步数 200 200 10000 10000