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二、离子研磨原理及作用

离子研磨通过氩离子束物理轰击样品，达到切割或表面抛光的作用。

为什么要进行表面抛光？

那是因为在对精细电子元器件切片的时候，往往会因为切片造成了金属延展、颗粒物填充等情况，对后续的检查带来不利影响。而这些就是前文提到的人为损害。

因此，我们对样片进行表面抛光，可以在减免人为损伤的前提下，完美展现内部缺陷形貌。