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测试气体：
1. 载气：N2,Ar,He,H2等
2. 反应气：H2, O2, CO, NO, SO2, NH3，H2S等有机无机气体
化学吸附反应装置&质谱联用-MS在线气体分析：
1.独立的分流进样系统，进样温度200℃，灵活方便，样品无歧视，响应速度快
2.多种测试方式，全谱扫描和多种气体扫描方式
3.动态、连续取样，实时、在线分析，响应速度快，数据分析功能强大
4.进样毛细管：长1米，外部有加热保护套，可加热至200℃
5.四级杆质谱：德国普发（Pfeiffer）
6.检测器：C-SEM/Faraday；双检测器，灵活切换使用
7.质量数范围：1amu～200amu；质量数分辨率：0.5～2.5amu
8.Zui 快扫描速度：1ms-60s/amu；Zui 小扫描歩阶：0.01amu
9.测试时间：2ms～60s，响应速度0.3s～2s
10.真空泵：分流分子泵+无油隔膜干泵对不同气体具有良好的抽气能力，消除样品歧视
11.涡轮分子泵：Zui 大预真空22百帕，Zui 终转速达1500Hz，接口法兰DN63 CF-F
12.通讯接口：TCP/IP Ethemet